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| 其他介绍 |
分辨率:5nm（30kv,SE Image） 电压:1-30kv（1/5/10/15/20/30） 探测器:SE（Secondary Electron）二次电子 电子枪:Tungsten Filament（cartridge）钨灯丝 光阑:30,50,100,200um (Variable type) 4挡调节 扫描图片像素:320×240,640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840 真空模式:High Vacuum高真空系统 (Low Vacuum低真空系统可选) 真空时间:180sec(抽真空),70sec(卸真空) 能谱系统:EDAX(element),电子显微镜,样品台尺寸:X:40mm,Y:40mm,R:360?,Z:0-35m,T:0-45?/5-axis 样品尺寸:80*35mm |
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